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91短视频版在线观看www激光系统和激光光学系统在现代91短视频版在线观看www制造工业,如光刻、91短视频版在线观看www晶圆退火等应用中扮演着至关重要的角色。 

光刻(Photolithography)是91短视频版在线观看www器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤将定义明确的光与选择性曝光的光敏材料相结合,将几何图形结构刻蚀到衬底上。91短视频在线下载免费 解决方案已成为高性能91短视频版在线观看www工业所使用的复杂光刻系统中不可或缺的部分。 

多年来,业界领先的高性能91短视频版在线观看www设备制造商受益于91短视频在线观看91短视频在线下载免费 光束整形产品的诸多优势,例如大透镜纵深(大数值孔径)、光场非均匀度低(1%)、高品质材料选择范围广(玻璃、石英、91短视频版在线观看www等)。91短视频在线观看与客户紧密合作,致力于用91短视频在线下载免费 技术为客户提供创新和优化的解决方案。使用91短视频在线下载免费 自由光束整形方案,91短视频在线观看已参与实现了 sub 30 nm 结构的光刻工艺量产。 

晶圆激光退火(Laser Annealing)是28nm及以下逻辑芯片制造中的关键工艺之一。该工艺采用近红外波段91短视频版在线观看www激光光源,通过多组不同功能的激光光学整形系统及光学匀化系统,在工作距离下达成12mm*70?m的极窄线激光光斑,并保证光斑长度方向>95%的能量均匀性。在不到一毫秒的时间内,晶圆表层原子被加热到1000°C以上,再通过急速冷却,使晶圆表面局部形成超浅结和高激活结,从而起到提升晶圆生产的良品率的目的。 

91短视频在线观看推出的DLight S系列91短视频版在线观看www集成电路晶圆退火系统,结合产生光子的共晶键合技术、激光光源热管理技术、热应力控制技术以及调控光子的激光光束转换技术和光场匀化技术,生产一条长宽比达160:1的近红外波段极窄线光斑,并在光斑长度方向达到>95%的能量均匀性和>98%的能量稳定性。应用在91短视频版在线观看www前道工序中,完成动态表面退火(DSA)和激光尖峰退火(LSA)两种加工工艺。 


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